| 차수 (연도) | 장소 | 일시 | 주최 | 학술 대회장 |
|---|---|---|---|---|
| 25회 (2023) | 제주 부영호텔 | 2022. 3. 22 - 3. 24 | 마이크로나노시스템학회 | 양 성 |
| 24회 (2022) | 제주 부영호텔 | 2022. 4. 6 - 4. 8 | 마이크로나노시스템학회 | 박재성 |
| 23회 (2021) | 부여 롯데리조트 | 2020. 4. 7 - 4. 9 | 마이크로나노시스템학회 | 성우경 |
| 22회 (2020) | 평창 휘닉스 파크 | 2020. 8. 19 - 8. 21 | 마이크로나노시스템학회 | 강지윤 |
| 21회 (2019) | 제주 KAL호텔 | 2019. 4. 4 - 4. 6 | 마이크로나노시스템학회 | 고종수 |
| 20회 (2018) | 제주 KAL호텔 | 2018. 4. 5 - 4. 7 | 마이크로나노시스템학회 | 이성호 |
| 19회 (2017) | 제주 KAL호텔 | 2017. 3. 30 - 4. 1 | 마이크로나노시스템학회 | 부종욱 |
| 18회 (2016) | 제주 KAL호텔 | 2016. 4. 7 - 9 | 마이크로나노시스템학회 | 성건용 |
| 17회 (2015) | 제주 KAL호텔 | 2015. 4. 2 - 4 | 마이크로나노시스템학회 | 김용준 |
| 16회 (2014) | 제주 KAL호텔 | 2014. 4. 3 - 5 | 마이크로나노시스템학회 | 강지윤 |
| 15회 (2013) | 제주 KAL호텔 | 2013. 4. 4 - 6 | 마이크로나노시스템학회 | 이승기 |
| 14회 (2012) | 제주 KAL호텔 | 2012. 4. 5 - 7 | 마이크로나노시스템학회 | 최범규 |
| 13회 (2011) | 제주 KAL호텔 | 2011. 4. 7 - 9 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 김용권 |
| 12회 (2010) | 부산 해운대 그랜드호텔 | 2010. 4. 1 - 3 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 김경천 |
| 11회 (2009) | 제주 KAL호텔 | 2009. 4. 2 - 4 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 김태송 |
| 10회 (2008) | 제주 KAL호텔 | 2008. 4. 3 - 5 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 최창억 |
| 9회 (2007) | 제주 KAL호텔 | 2007. 4. 5 - 7 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 박효덕 |
| 8회 (2006) | 제주 KAL호텔 | 2006. 4. 6 - 8 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 이응숙 |
| 7회 (2005) | 제주 KAL호텔 | 2005. 4. 7 - 9 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 박정호 |
| 6회 (2004) | 제주 KAL호텔 | 2004. 4. 8 - 10 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 이종현 |
| 5회 (2003) | 제주 오리엔탈 호텔 | 2003. 5. 15 - 17 | 한국 MEMS 학술대회 운영위원회 | 양상식 |
| 4회 (2002) | 경주 콩코드호텔 | 2002. 4. 12 - 13 | 한국센서학회 MEMS 연구회 | 박세광 |
| 3회 (2001) | 서울대학교 | 2001. 4. 13 - 14 | 한국정밀공학회 마이크로머시닝부문 | 한동철 |
| 2회 (2000) | KAIST | 2000. 4. 14 - 15 | 대한기계학회 마이크로머신 분과회 | 곽병만 |
| 1회 (1999) | KIST | 1999. 4. 17 | 대한전기학회 MEMS 연구회 | 오명환 |